一种管式流体控温的化学机械抛光盘
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摘要
本实用新型公开了一种管式流体控温的化学机械抛光盘，抛光盘包括面板和底盘，底盘上表面开设有与盘旋管适配的凹槽，盘旋管嵌设在凹槽内，面板设置在底盘上且与盘旋管紧密抵接；底盘的下表面中部设置有连接座，连接座内开设有两端具有开口的连接腔，底盘设置在旋转轴上，旋转轴内开设有两端具有开口的流体通道，连接腔两端分别与流体通道和盘旋管的出口端连通；旋转轴通过防水轴承转动设置在圆筒底座上，第二进液管的一端穿设在旋转轴内；第一进液管位于连接腔内，第一进液管的一端连接盘旋管位于抛光盘中央的入口，另一端通过快速接口与第二进液管连接；圆筒底座上开设有与流体通道连通的流体出口。本实用新型技术方案旨在实现按照抛光要求被加热或冷却抛光盘。
基本信息
专利标题 ：
一种管式流体控温的化学机械抛光盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020430992.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-30
授权号 ：
CN211805516U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
王家雄
申请人 ：
昂士特科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
谭雪婷
优先权 ：
CN202020430992.2
主分类号 ：
B24B37/16
IPC分类号 ：
B24B37/16 B24B51/00 B24B55/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
B24B37/12
用于加工平面的研磨片
B24B37/16
以研磨片表面的形状为特征，如带有槽的
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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