多片立式放置晶圆盒及上盖
授权
摘要
本实用新型提供一种多片立式放置晶圆盒及上盖,包括上盖、片架、底盖,所述上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片,所述悬臂弹片的自由端设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽;所述支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙,相邻所述支撑槽的相邻所述挡墙呈错位互补型。本实用新型具有结构简化、安装方便、节约成本、减少卡片现象的特点。
基本信息
专利标题 :
多片立式放置晶圆盒及上盖
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020436121.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-30
授权号 :
CN212767600U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
刘国华李刚刘春峰
申请人 :
荣耀电子材料(重庆)有限公司
申请人地址 :
重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号
代理机构 :
深圳市中知专利商标代理有限公司
代理人 :
张学群
优先权 :
CN202020436121.1
主分类号 :
B65D51/24
IPC分类号 :
B65D51/24 B65D25/10 B65D55/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D51/00
其他类目不包含的封口
B65D51/24
与用于非封闭用途的辅助装置结合的
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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