计量级3D超景深共焦显微系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种计量级3D超景深共焦显微系统,涉及光电无损3D检测技术领域;该显微系统包括光学显微镜、光谱共焦传感器、xyz轴电动位移平台以及控制模块和PC处理器;xyz轴电动位移平台包括xy轴平移台和z轴升降模块,光学显微镜配置有照明光源和图像采集单元,控制模块包括xyz电动控制单元、与光谱共焦传感器连接的光谱共焦处理器以及电源模块,图像采集单元用于采集目标检测区域的图像信息,并将图像信息传输至PC处理器;通过实施本技术方案,能够无损观察样品,并能够超大面积对材料表面的微观状态进行拍照、3D真彩色成像及3D精准测量,实现计量级的检测精度,并保有微观样品的细节与真实颜色,具有很好的应用前景。
基本信息
专利标题 :
计量级3D超景深共焦显微系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020436215.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-30
授权号 :
CN211651535U
授权日 :
2020-10-09
发明人 :
阳宇春孙亮
申请人 :
阳宇春;孙亮
申请人地址 :
四川省成都市青羊区博瑞都市花园28-3-502
代理机构 :
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 :
管高峰
优先权 :
CN202020436215.9
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-10-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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