一种石英玻璃晶圆精密加工装置
授权
摘要
本实用新型涉及玻璃晶圆加工技术领域，且公开了一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接有支撑板，两个所述支撑板上端共同固定连接有安装板，所述安装板上端安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆通过第一轴承与安装板转动连接，所述螺纹杆的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒，所述安装板底部关于螺纹杆对称固定连接有限位框。本实用新型便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。
基本信息
专利标题 ：
一种石英玻璃晶圆精密加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020453915.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-01
授权号 ：
CN212145960U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
万峰张宝柱马雄
申请人 ：
金湖万迪光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市金湖县经济开发区金水河西
代理机构 ：
南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
伍兵
优先权 ：
CN202020453915.9
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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