一种用于芯片Pad面的视觉检查装置

授权

摘要

本申请公开了一种用于芯片Pad面的视觉检查装置，包括底座和设置于底座上的支架，在所述支架中设有用于捕获芯片Pad面图像的检测件，所述检测件的上方设有用于支撑芯片的载物台，所述载物台与所述支架连接，其中，所述检测件为设置于芯片下方的反射镜或图像采集装置，通过目视观察反射镜所形成的虚像或图像采集装置所采集的图像监测芯片Pad面是否存在缺陷。本申请所公开的检查装置结构简单，能够方便高效地观察芯片Pad面，不仅提高了检查的便利性、可靠性和时效性，而且减少了人工搬运可能导致的芯片接触污染和破坏。

基本信息

专利标题：

一种用于芯片Pad面的视觉检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020461386.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-01

授权号：

CN212410469U

授权日：

2021-01-26

发明人：

马晓波王金惠卢玉溪季洪虎

申请人：

苏州通富超威半导体有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区苏桐路88号

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭栋梁

优先权：

CN202020461386.7

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 G01N21/01