一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置

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摘要

本实用新型提供了一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置。所述装置包括：依次连接的待测气体罐、气体检测腔室、尾气处理腔室；以及与气体检测腔室连接的测量电路；其中，所述气体检测腔室包括AlGaN/GaN基HEMT气体传感器，以及设置于所述气体传感器上方的紫外光束发射器件。通过紫外光束照射AlGaN/GaN基HEMT气体传感器来提高气体传感器的灵敏度，同时也能降低气体传感器的测量阈值。

基本信息

专利标题：

一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020461884.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-02

授权号：

CN211785287U

授权日：

2020-10-27

发明人：

孙海定邢宠许磊张昊宸宋康杨磊谢东成刘睿晨薛峰

申请人：

中国科学技术大学

申请人地址：

安徽省合肥市包河区金寨路96号

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周天宇

优先权：

CN202020461884.1

主分类号：

G01N27/12

IPC分类号：

G01N27/12 H01L29/778