一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置
授权
摘要
本实用新型涉及玻璃抛光技术领域，且公开了一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，包括壳体，壳体的上端四角处均固定连接有滑杆，四个滑杆的杆壁均固定连接有同一个顶板，顶板的上端固定连接有升降电机，升降电机的输出轴贯穿顶板的侧壁固定连接有活动板，活动板滑动连接在四个滑杆的杆壁，活动板的下端固定连接有抛光电机，抛光电机的输出轴固定连接有抛光刀片，壳体的底部内壁固定连接有两个固定板，两个固定板之间通过滚珠轴承转动连接有往复丝杆，往复丝杆的一端贯穿固定板的侧壁固定连接有移动电机，往复丝杆的杆壁通过螺纹啮合连接有滑座。本实用新型提高了晶圆抛光的效率，不用多次重复固定晶圆，方便了人们使用。
基本信息
专利标题 ：
一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020462736.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-02
授权号 ：
CN212145917U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
万峰张宝柱马雄
申请人 ：
金湖万迪光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市金湖县经济开发区金水河西
代理机构 ：
南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
伍兵
优先权 ：
CN202020462736.1
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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