垂向运动装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种垂向运动装置，包括凸轮组件、电机组件以及运动平台，该凸轮组件包括凸轮定子和凸轮动子，该凸轮定子与该电机组件连接并在顶部设有高度变化的驱动表面，该凸轮动子与该凸轮定子配合并与该运动平台连接，通过该电机组件运动带动该凸轮定子转动从而驱动该凸轮动子沿该驱动表面滚动，以驱动该运动平台进行垂向运动。本实用新型的垂向运动装置采用直驱形式，减少了传动环节，提高了垂向的运动速度，响应较快。
基本信息
专利标题 ：
垂向运动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020470715.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-02
授权号 ：
CN212461645U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
吴火亮陈啸虎
申请人 ：
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼
代理机构 ：
上海上谷知识产权代理有限公司
代理人 ：
姜龙
优先权 ：
CN202020470715.4
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 G01R1/04 G01B11/00 F16H25/12
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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