一种真空机械手的磁流体密封传动装置
授权
摘要
本实用新型提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置，包括安装座、传动轴、内侧传动轴、第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构，所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构，所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构，内侧传动轴的轴向两端设置有末端连接机构，所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。传动轴一端通过传动齿轮真空机械手的第一从动轴连接，另一端与外部第一驱动轴连接；内侧传动轴一端通过末端连接机构与真空机械手的第二从动轴连接，另一端通过末端连接机构与外部的第二驱动轴连接，传动轴和内侧传动轴分别传递不同的驱动力，避免在真空机械手的真空腔内安装多个磁流体密封传动装置，整体结构紧凑。
基本信息
专利标题 ：
一种真空机械手的磁流体密封传动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020485059.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-07
授权号 ：
CN212080168U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
雷世友张松华
申请人 ：
杭州铂利雅精密机械有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区钱江经济开发区兴国路530号5幢
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚丽萍
优先权 ：
CN202020485059.5
主分类号 ：
F16J15/43
IPC分类号 ：
F16J15/43
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/16
在相对运动的表面之间
F16J15/40
用流体
F16J15/43
靠磁力保持在密封位置
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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