本实用新型提供一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括壳体、传动轴、磁流体密封机构、旋转接头、蜗杆、壳体冷却通道、传动轴冷却通道和冷却腔，磁流体密封机构用于旋转密封传动轴和壳体，壳体冷却通道用于降低壳体和冷却腔的温度，从而降低磁流体密封机构的温度，在PEVD设备较高的工艺温度下，使磁流体密封机构仍然能保持正常工作温度，旋转接头的心轴的通道与传动轴冷却通道连通，从而降低传动轴的温度，进一步调节磁流体密封机构的温度，蜗杆用于与外部驱动装置连接，通过蜗轮将驱动力传递给传动轴，传动轴另一端通过与真空腔内的从动轴连接，将驱动力传递给从动轴，起高传动的作用。