一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体、安装在壳体内的传动轴、磁流体密封机构和冷却机构，磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，壳体右端通过连接机构安装在真空腔上，传动轴两端分别通过连接机构与真空腔的从动轴和外部驱动轴连接，磁流体密封机构用于密封传动轴，便于保持真空腔内的真空度，壳体冷却管通过壳体降温或保温，轴冷却管用于传动轴的冷却和保温，防止高温对磁流体密封机构造成影响，保证磁流体密封机构正常工作，冷却腔用于对磁流体密封机构右侧的气体或壳体进行预冷，以提高磁流体密封机构的冷却效果或保温效果。
基本信息
专利标题 ：
一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020477518.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-03
授权号 ：
CN212080165U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
雷世友张松华
申请人 ：
杭州铂利雅精密机械有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区钱江经济开发区兴国路530号5幢
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚丽萍
优先权 ：
CN202020477518.5
主分类号 ：
F16J15/43
IPC分类号 ：
F16J15/43
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/16
在相对运动的表面之间
F16J15/40
用流体
F16J15/43
靠磁力保持在密封位置
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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