一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴

授权

摘要

本实用新型涉及一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴，包括固定在机体上的定子轴、部分嵌入在定子轴内部的转子轴以及嵌入转子轴内部的绝热筒，其中：定子轴呈筒状，轴向外表面开设有两个气源通道接口、两个低温液体通道接口；转子轴呈筒状且底部为开口，转子轴开设有与两个气源通道接口连通的两个气源通道、轴向分布的电力通道和氦气通道以及两个低温液体通道槽；绝热筒呈圆柱状，绝热筒开设有与两个低温液体通道，两个低温液体通道通过两个低温通道槽与两个低温液体通道接口连通；本实用新型将气、电、液介质直接集成在磁流体旋转轴内部，减少了设备占用空间，降低了成本，提高了效率，给维护也带来了极大的便利。

基本信息

专利标题：

一种离子束刻蚀磁流体密封旋转轴

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922265140.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-17

授权号：

CN211501641U

授权日：

2020-09-15

发明人：

程实然王铖熠郭颂陈兆超李娜胡冬冬许开东

申请人：

江苏鲁汶仪器有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

徐尔东

优先权：

CN201922265140.2

主分类号：

F16J15/43

IPC分类号：

F16J15/43 H01J37/20