一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，主要解决现有半导体离子束刻蚀中，产品片承载装置散热效果不好，导致离子束刻蚀次品率高的问题。该承载装置包括托盘和运动小车，还包括设置于运动小车上的散热盘；所述托盘包括内部具有空腔的托盘本体，设置于托盘本体的空腔内并与托盘本体的顶板内侧固定连接的水循环管路，设置于托盘本体侧壁与水循环管路连通的冷却水进出接头，以及开设于托盘本体的底板上的滑槽与散热孔。本实用新型通过在运动小车上增设散热盘，利用导轨式散热片将托盘本体内积聚的热量引导至散热盘散出，同时利用冷却水循环的方式带走托盘上的热量，实现多方式、多重散热，避免产品片刻蚀时损坏，提高产品片的成品率。
基本信息
专利标题 ：
一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020741206.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-08
授权号 ：
CN211670172U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
阳熊
申请人 ：
四川科尔威光电科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
代理机构 ：
成都慕川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨艳
优先权 ：
CN202020741206.0
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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