一种电子级超纯氨水的吸收装置
授权
摘要

本实用新型涉及电子化学品生产设备领域,提供一种电子级超纯氨水的吸收装置,包括超纯氨气进气管、超纯水进水管、吸收塔、出料管,所述吸收塔为逆流操作的填料塔,包括位于上部的塔体与位于下部的塔釜,塔体内部包括从上至下依次设置的分布器、第一填料、第二填料,塔釜底部连接有一循环管且循环管的另一端与分布器上方的塔体侧壁相连,循环管从下端到上端依次设有隔膜泵、过滤单元、检测单元,检测单元与循环管上端之间的循环管上连接有出料管。该装置循环充分,循环效率高,降低了成本;且料液在循环时还通过设在循环管上的过滤单元,可以去除在吸收塔内或是循环过程中引入的杂质,提高了终产品的纯度。

基本信息
专利标题 :
一种电子级超纯氨水的吸收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020504017.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-08
授权号 :
CN212222436U
授权日 :
2020-12-25
发明人 :
冯烈许京伟刘尚文金波张磊
申请人 :
浙江建业化工股份有限公司;浙江建业微电子材料有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市建德市梅城镇严东关路8号
代理机构 :
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 :
尉伟敏
优先权 :
CN202020504017.1
主分类号 :
C01C1/02
IPC分类号 :
C01C1/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01C
氨;氰;其化合物(卤素的含氧酸盐入C01B11/00;过氧化物,过氧酸盐入C01B15/00;硫代硫酸盐、连二亚硫酸盐、连多硫酸盐入C01B17/64;含硒或碲的化合物入C01B19/00;叠氮化合物入C01B21/08;金属氨化物入C01B21/092;亚硝酸盐入C01B21/50;磷化物入C01B25/08;磷的含氧酸盐入C01B25/16;含硅化合物入C01B33/00;含硼化合物入C01B35/00;制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P3/00;用电解法或电泳法生产非金属元素
C01C1/00
氨;其化合物
C01C1/02
氨的制备或分离
法律状态
2020-12-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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