本实用新型涉及电子化学品生产设备领域，提供一种电子级超纯氨水的制备装置，包括包括洗涤装置与吸收装置，其中洗涤装置包括高纯氨气进气管、第二超纯水进水管、洗涤塔，吸收装置包括超纯氨气进气管、超纯水进水管、吸收塔、出料管；吸收塔为逆流操作的填料塔，吸收底部连接有一循环管且循环管的另一端与吸收塔的侧壁相连，循环管从下端到上端依次设有隔膜泵、过滤单元、检测单元，检测单元与循环管上端之间的循环管上连接有出料管。该装置经过洗涤、吸收制得电子级超纯氨水，吸收装置部分循环充分，循环效率高，成本低；且料液在循环时还通过设在循环管上的过滤单元，可以去除在洗涤与吸收过程中可能引入的杂质，提高了终产品的纯度。