本实用新型公开了一种多腔体无尘精密烤箱，包括有箱体、多个腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、多个循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器、控制器和多通道记录仪，电磁门锁、多个循环风机、电加热器的供电回路中分别安装有第一、二、三继电器；温度传感器分别与温控器电连接，温控器分别与控制器和多通道记录仪电连接，控制器分别与行程开关、气体流量计、第一、二、三继电器、进气电磁阀和排气电磁阀电连接。本实用新型设置多个腔室，既相互独立，又集中一体，可独立运行，也可同步运行，效果好，效率高，使产品快速、高效的达到所需温度，能够起到很好的洁净效果，且独立升温，实现了自动化作业。