一种晶圆表面的擦拭装置
授权
摘要
公开了一种晶圆表面的擦拭装置，包括第一基座、送料机构、第二基座和擦拭模组，送料机构固定于第一基座上并包括间隔设置的进料部、收料部以及设置于进料部和收料部下方用于张紧无尘布的张紧机构，擦拭模组设置于进料部与收料部之间并固定于第二基座上，擦拭模组包括擦拭头组件和滴定组件，滴定组件沿无尘布的进给方向设置于擦拭头组件之前。该结构的擦拭装置在晶圆表面擦拭的过程中，可以均匀的实现晶圆表面的擦拭且解决了无尘布浪费的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆表面的擦拭装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020522808.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN212190178U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
陈进益孙会民
申请人 ：
厦门柯尔自动化设备有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市翔安区火炬高新区（翔安）产业区翔虹路17号一楼
代理机构 ：
厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
肖琨
优先权 ：
CN202020522808.7
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B3/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
