擦拭装置
授权
摘要

该实用新型涉及一种擦拭装置,包括:安装条,表面设置有导轨,用于将所述导轨固定到待擦拭的阀门表面;至少一个擦拭条,安装至所述导轨,并能够沿所述导轨的长度方向运动,且在所述安装条安装至所述阀门表面时,所述擦拭条与所述阀门表面相接触。以上擦拭装置具有导轨以及安装在导轨上、能沿所述导轨的长度方向运动的擦拭条,因此易操作,清洁彻底;擦拭过程中掉落的颗粒物杂质不会掉落在腔室内形成二次污染,并且还消除了擦拭过程中真空阀门夹手的风险。

基本信息
专利标题 :
擦拭装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921230143.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-31
授权号 :
CN210632493U
授权日 :
2020-05-29
发明人 :
祁志超何文薛超林宗贤
申请人 :
德淮半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 :
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙佳胤
优先权 :
CN201921230143.6
主分类号 :
B08B1/00
IPC分类号 :
B08B1/00  B08B5/04  B08B13/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2020-05-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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