一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统

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摘要

本实用新型公开了一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统，属于硅片输送设备技术领域。本实用新型的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。

基本信息

专利标题：

一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020527523.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-10

授权号：

CN212049533U

授权日：

2020-12-01

发明人：

李新丰连建军董平博王彦齐

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢

代理机构：

江苏瑞途律师事务所

代理人：

王珒

优先权：

CN202020527523.2

主分类号：

B65G49/07

IPC分类号：

B65G49/07