表面检测装置和显微镜
授权
摘要
本实用新型提供了一种表面检测装置和显微镜，所述表面检测装置包括：光源用于发出检测光；所述检测光经过掩膜板后形成条纹光束，所述掩膜板具有条纹；所述条纹光束被第一反射镜反射，第一反射光射向物镜组；所述第一反射光被物镜组会聚在待测表面上，待测表面上的第二反射光穿过所述物镜组和第一反射镜，之后穿过成像透镜组。本实用新型具有表面检测等优点。
基本信息
专利标题 ：
表面检测装置和显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020530252.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-13
授权号 ：
CN212674054U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
蔡雨杏史振志闻路红郭荣杨阳聂江龙李文
申请人 ：
广州市艾贝泰生物科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区南村镇兴南大道483号四楼A区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020530252.6
主分类号 ：
G01B9/04
IPC分类号 ：
G01B9/04 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/04
测量显微镜
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
