一种平行度检测仪及其调节控制器
授权
摘要
本实用新型公开了一种平行度检测仪，包括：干涉仪，用于工件平行度检测时发射光束；置物台，用于放置标准工件；检测单元，用于放置待测工件，并使待测工件进行二维运动，包括横向运动机构，横向运动机构设有纵向运动机构，纵向运动机构设有调平组件，调平组件正上方设有反射组件，待测工件置于调平组件；控制柜，与干涉仪和检测单元连接，用于控制干涉仪与检测单元，使置于检测单元的待测工件进行二维运动，控制干涉仪的启闭状态；置物台设于干涉仪和检测单元之间。本实用新型方便待测工件的表面检测，方便进行载物台平整度的调整，方便进行反射镜的高度调整，提高了平行度的检测效率以及平行度的检测效果，具有较强的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种平行度检测仪及其调节控制器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020542842.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-14
授权号 ：
CN211477039U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
冯伟戈小龙
申请人 ：
绵阳诺达佳工业控制技术有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区临园路东段54号1幢15-13号
代理机构 ：
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 ：
阮涛
优先权 ：
CN202020542842.0
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 G02B7/198 G05D3/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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