一种载台平行度检测仪

授权

摘要

本实用新型公开了一种载台平行度检测仪，属于半导体的制程设备领域。包括：一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架连接有显示单元，显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台，通配率高。

基本信息

专利标题：

一种载台平行度检测仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021900845.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-03

授权号：

CN212843449U

授权日：

2021-03-30

发明人：

蔡文必林鑫张灿秋

申请人：

厦门市三安集成电路有限公司

申请人地址：

福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021900845.3

主分类号：

G01B11/27

IPC分类号：

G01B11/27