晶片载置台
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。
基本信息
专利标题 ：
晶片载置台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114375074A
申请号 ：
CN202111203612.7
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
岩田祐磨井上靖也渡边玲雄
申请人 ：
日本碍子株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈彦
优先权 ：
CN202111203612.7
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H05B3/03 H05B3/14
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 3/02
申请日 : 20211015
申请日 : 20211015
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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