载置台装置和探针装置
授权
摘要
载置台装置(11)的驱动部(33)具有：俯视时为矩形的箱体(35)；基台(37)；一对X轴直线电动机(39、39)；和一对Y轴直线电动机(41、41)。X轴定子分别配置于箱体(35)的彼此相对的2个X轴方向侧壁(43)，将各X轴动子向X轴定子侧(Y轴方向)吸引的磁引力在一对X轴直线电动机(39)之间相互抵消。Y轴定子分别配置在彼此相对的2个Y轴壁体(37b)的内侧，将各Y轴动子向Y轴定子侧(X轴方向)吸引的磁引力在一对Y轴直线电动机(41)之间相互抵消。
基本信息
专利标题 ：
载置台装置和探针装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108140602A
申请号 ：
CN201680055595.8
公开（公告）日 ：
2018-06-08
申请日 ：
2016-08-05
授权号 ：
CN108140602B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
远藤朋也
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN201680055595.8
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/66 G01R31/26 H02K41/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2018-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20160805
申请日 : 20160805
2018-06-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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