一种晶片载具

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种晶片载具，包括：数个固定柱，数个固定柱能够围成一个容置空间，各固定柱具有多个连接槽，多个连接槽沿固定柱的延伸方向分布，固定柱的各连接槽能够分别与其他固定柱的一个连接槽形成一组；托盘，其能够定位于一组连接槽，以定位于容置空间。每个固定柱的每个连接槽都能够与其他固定柱的一个连接槽形成一组连接槽，以使托盘能够定位于一组连接槽上，进而实现对于晶片的承载，形成的多组连接槽则能够尽可能多的承载晶片的数量，从而在一定程度上提升晶片批量退火的热处理工艺的生产效率。

基本信息

专利标题：

一种晶片载具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922230547.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-12

授权号：

CN211125607U

授权日：

2020-07-28

发明人：

张九阳许晓林李霞高超

申请人：

山东天岳先进材料科技有限公司

申请人地址：

山东省济南市槐荫区天岳南路99号

代理机构：

北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

吴绍群

优先权：

CN201922230547.1

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673