本实用新型公开了一种半导体晶圆校正装置，包括工作台、吸附结构、防护结构和滚动结构，所述工作台顶端的一侧设置有曲形固定块，且曲形固定块的一侧和底端固定连接有滚动结构，所述曲形固定块的顶端固定连接有吸附结构，所述工作台的一侧固定连接有防护结构，所述工作台的一端固定连接有矫正体，所述预设底座的两侧镶嵌有固定卡槽，且固定卡槽的顶端设置有与固定卡槽相互配合的固定卡块。本实用新型通过滚动结构在矫正时的输送机构采用的是滚动移动，摩擦力相对于滑动移动磨损较小，延长了输送机构的使用寿命，滚动结构的工作原理是通过移动滚轮和限位滑槽相互配合移动，固定槽体的作用是固定住曲形固定块避免曲形固定块掉落。