催化式气体传感元件和催化式气体传感器

授权

摘要

本实用新型涉及一种催化式气体传感元件，包括薄膜基底、检测元件、参考元件、多孔沉积层。薄膜基底的导热系数小、耐高温且绝缘；检测元件在薄膜基底上加工而成，包括检测元件加热电极、检测元件温度检测电极；参考元件在薄膜基底上加工而成，包括参考元件加热电极、参考元件温度检测电极；多孔沉积层包括沉积在检测元件上的含有催化剂的多孔载体、沉积在参考元件上的不含催化剂的多孔载体。薄膜基底上加工有隔离检测元件和参考元件的镂空区域。本发明还涉及应用上述催化式气体传感元件的催化式气体传感器。本实用新型具有高性能、低成本、高可靠性的优点，还具备高灵敏、良好的气体选择性、低功耗、良好的长期稳定性。

基本信息

专利标题：

催化式气体传感元件和催化式气体传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020590881.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211978743U

授权日：

2020-11-20

发明人：

荆高山樊晓华

申请人：

江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C座18楼

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

孙仿卫

优先权：

CN202020590881.8

主分类号：

G01N27/16

IPC分类号：

G01N27/16