催化式气体传感元件和催化式气体传感器

授权

摘要

本实用新型涉及一种催化式气体传感元件，包括多孔薄膜基底、检测元件、参考元件、多孔沉积层。多孔薄膜基底的导热系数小、耐高温且绝缘；检测元件在薄膜基底上加工而成，包括检测元件加热电极、检测元件温度检测电极；参考元件在薄膜基底上加工而成，包括参考元件加热电极、参考元件温度检测电极；多孔沉积层包括沉积在检测元件上的含有催化剂的多孔载体、沉积在参考元件上的不含催化剂的多孔载体。本实用新型还涉及应用上述催化式气体传感元件的催化式气体传感器。本实用新型具有高性能、低成本、高可靠性的优点，还具备高灵敏、良好的气体选择性、低功耗、良好的长期稳定性。

基本信息

专利标题：

催化式气体传感元件和催化式气体传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020733813.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-07

授权号：

CN213843094U

授权日：

2021-07-30

发明人：

荆高山樊晓华

申请人：

江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C座18楼

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

孙仿卫

优先权：

CN202020733813.2

主分类号：

G01N27/16

IPC分类号：

G01N27/16