一种超静真空测试装置
授权
摘要
为了解决真空测试装置的振动和抖动导致航天器地面真空测试结果不准确，甚至无法测试的技术问题，本实用新型提供了一种超静真空测试装置。本实用新型将真空罐和测试真空罐分离，二者之间采用波纹管连接，避免了干泵、分子泵、低温泵直接连接在测试真空罐上，在运转过程中对测试真空罐的振动影响；通过第一气浮平台的气缸的支撑，使测试真空罐处于气浮状态，隔绝了外界对测试真空罐的振动影响；通过第二气浮平台的气缸的支撑，使载物平台处于气浮状态，进而使得置于载物平台上的试验产品处于气浮状态，隔绝了外界对试验产品的振动影响。
基本信息
专利标题 ：
一种超静真空测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020615389.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-22
授权号 ：
CN212354431U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
王亚军赛建刚高斌赵燕高博韩磊孟宁飞于攀龙贾琦张海民
申请人 ：
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
代理机构 ：
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 ：
王凯敏
优先权 ：
CN202020615389.1
主分类号 ：
B64G7/00
IPC分类号 ：
B64G7/00 F04B41/02 F04B41/06 F04B37/14 G01M99/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B64
飞行器；航空；宇宙航行
B64G
宇宙航行；及其所用的飞行器或设备
B64G7/00
宇宙航行条件的模拟装置，例如用于航天员的条件适应
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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