一种用于晶圆多片搬动的机械手结构
授权
摘要
本实用新型专利涉及半导体制造领域，具体涉及一种用于晶圆多片搬动的机械手结构。包括底板，底板上设有多根竖向丝杠轴，丝杠轴上相同高度的丝杠螺母连接同一个多片爪；丝杠轴底部均设有从动轮，驱动电机设于底板上，电机轴底部设有主动轮；主动轮通过同步带连接多个从动轮；移动基座上平行对称设有结构相同的Y1单爪移动组件和Y2多爪移动组件，均包括滚珠花键轴和同步带；滚珠花键轴与同步带平行设置，滚珠花键轴上设有花键母安装座，同步带两端设有传动轮；底板固设于Y2多爪移动组件的花键母安装座上，单片爪与Y1单爪移动组件的花键母安装座相连。本实用新型多爪间距可调机械手适用于不同半导体厂家使用要求，满足不同层距的晶盒和晶舟。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆多片搬动的机械手结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020626029.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212399578U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
周建灿沈文杰朱亮邵鹏飞陈聪鲁冲昊张凌峰张磊
申请人 ：
浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN202020626029.1
主分类号 ：
B25J9/02
IPC分类号 ：
B25J9/02 B25J15/00 H01L21/687 H01L21/677
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J9/00
程序控制机械手
B25J9/02
以臂的运动为特征的，例如直角坐标型的
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
