本实用新型公开了复合气体混合装置，包括混合室，混合室是一个内部圆柱体的空腔，混合室周壁下部连接多个进气接头，混合室的顶部设置有出气接头，进气接头和出气接头上安装有调节阀门，混合室的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管、喷吹气包和脉冲阀，喷吹气包上安装有脉冲阀，脉冲阀配一根喷吹管，喷吹管安装在混合室内部下方。通过在混合室周壁下部连接多个进气接头，在混合室的顶部设置出气接头，进气嘴和出气嘴均由多节环形仓连接，进气出气更加顺畅，这样工作气体从多个进气接头进去，混合室内部空间大，能够混合均匀，再加上喷吹管的向上喷吹，加速气体混合，再从出气接头将混合气体送入到真空室。