硅芯料棒定位夹持机构
授权
摘要
本实用新型揭示了一种硅芯料棒定位夹持机构，包括一根用于构成机构主体的支撑圆管以及至少两个嵌套设置于支撑圆管外周、用于完成对硅芯料棒定位夹持的固定组件；多个固定组件间平行且对称设置；每个固定组件均包括一块卡板主体以及多块可活动地设置于卡板主体周围的活动卡板，卡板主体与活动卡板的边沿位置均开设有卡齿，卡板主体与活动卡板二者上的卡齿成对设置，每对卡齿相咬合形成一个闭合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夹持状态下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本实用新型以间隔式、卡扣式的形式完成了对硅芯料棒的夹持固定，保证了每根硅芯料棒均能够与药液充分接触、腐蚀均匀，有效地提升了加工的良率。
基本信息
专利标题 ：
硅芯料棒定位夹持机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020636079.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN212733309U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
邵树宝王福亮储冬华陈利锋赵芹何婷婷陈素荣
申请人 ：
江苏芯梦半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
姚姣阳
优先权 ：
CN202020636079.8
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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