一种压电式微镜的结构
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摘要
一种压电式微镜的结构，包括衬底晶圆，空腔，反射镜金属表面，悬臂梁结构，金属连接线，压电薄膜，盖板晶圆，键合界面，吸气剂盒；衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，空腔在沉积晶圆上，为凹槽结构；反射镜金属表面通过悬臂梁结构连接微镜与衬底晶圆；金属连接线为薄膜状连接线，压电薄膜与金属连接相连；键合界面是盖板晶圆与衬底晶圆键合后的键合界面，盖板晶圆与衬底晶圆通过共晶键合，微镜在空腔中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒设置在空腔内。本实用新型的优点：加工简单，采用悬臂梁结构，悬臂梁结构上沉积压电材料和利用金属表面作为反射镜，可封装一个或多组排列的镜面，具有光学开关作用及较高的偏转角度，位移控制精确。
基本信息
专利标题 ：
一种压电式微镜的结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020647960.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-26
授权号 ：
CN212515216U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
黄向向杨敏道格拉斯·雷·斯巴克斯关健孙斯佳
申请人 ：
罕王微电子（辽宁）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）
代理机构 ：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202020647960.8
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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