压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法
公开
摘要
本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。
基本信息
专利标题 ：
压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114583043A
申请号 ：
CN202210150504.6
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-02-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
焦文龙严阳阳杨芋彭文谢会开
申请人 ：
北京理工大学重庆微电子研究院
申请人地址 ：
重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼2单元
代理机构 ：
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘世权
优先权 ：
CN202210150504.6
主分类号 ：
H01L41/083
IPC分类号 ：
H01L41/083 H01L41/312 G02B26/08
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
