一种电磁驱动式MEMS微镜
授权
摘要
本实用新型公开了一种电磁驱动式MEMS微镜，包括透明的上盖、导热的基座、微镜以及螺线管，上盖盖设于基座上表面，并与基座围成真空的空腔，微镜固定并容纳于空腔内，包括框架、反射镜以及磁铁，反射镜固定在框架内，螺线管固定在基座内且顶端与反射镜间隔设置，磁铁固定在反射镜背面，用于在通电的螺线管的作用下，带动反射镜相对于框架发生扭转。本实用新型的电磁驱动式MEMS微镜，由于微镜芯片上集成的驱动器为磁铁，并不产生热量，MEMS微镜仍可以采用真空式的封装结构，既能快速散热，又能有效避免真空封装方式影响器件的正常工作带来的发热问题，而且不需要在真空腔室内进行电连接，因此不会影响封装置的气密性，有利于电磁驱动式MEMS微镜性能的提升。
基本信息
专利标题 ：
一种电磁驱动式MEMS微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020579906.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN211698425U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
李帆雅魏迪周小文沈文江
申请人 ：
苏州希景微机电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
代理机构 ：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙伟峰
优先权 ：
CN202020579906.4
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B26/08 G02B7/198
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
