一种电磁式MEMS扭转微镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；所述框架用以固定所述微镜反射镜面；所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。
基本信息
专利标题 ：
一种电磁式MEMS扭转微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021855942.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213182194U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
秦毅王福杰姚智伟任斌郭芳
申请人 ：
东莞理工学院
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号
代理机构 ：
北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李勇
优先权 ：
CN202021855942.5
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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