微镜阵列和制造该微镜阵列的方法

专利权的终止

PDF下载

摘要

本发明公开了一种微镜阵列和制造该微镜阵列的方法。制造用在控制光学元件的光路中的微镜阵列的方法，包括：形成至少一个定位图案，其中，微镜将被设置在基板上；在定位图案中设置具有至少一个反射表面的微镜。

基本信息

专利标题：

微镜阵列和制造该微镜阵列的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1773324A

申请号：

CN200510115241.1

公开（公告）日：

2006-05-17

申请日：

2005-11-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金海成孙镇昇

申请人：

三星电机株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

李瑞海

优先权：

CN200510115241.1

主分类号：

G02B26/00

IPC分类号：

G02B26/00 H01L21/00

IPC结构图谱

G部——物理

G02

光学

G02B

光学元件、系统或仪器附注

G02B26/00

利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制

法律状态

2012-01-11 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101169509748
IPC(主分类) : G02B 26/00
专利号 : ZL2005101152411
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20081224
终止日期 : 20101111

2008-12-24 ：

授权

2006-07-12 ：

实质审查的生效

2006-05-17 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载