微镜阵列装置及其制造方法
授权
摘要
本发明的空间光调制器包括微镜阵列，其中的每一微镜具有反射性可偏转镜板。提供一组支柱来用于将所述镜板保持在衬底上，但并不是微镜阵列的所有微镜均具有支柱。
基本信息
专利标题 ：
微镜阵列装置及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101213481A
申请号 ：
CN200580041816.8
公开（公告）日 ：
2008-07-02
申请日 ：
2005-10-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彼得·休鲁克斯
申请人 ：
德州仪器公司
申请人地址 ：
美国得克萨斯州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王允方
优先权 ：
CN200580041816.8
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G02B26/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2010-12-08 ：
授权
2008-08-27 ：
实质审查的生效
2008-07-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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