反射镜器件的制造方法、及反射镜单元的制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明的反射镜器件的制造方法具备：形成工序，通过晶圆的加工，形成基底部、可动部、及以所述可动部相对于所述基底部可摆动的方式将所述基底部和所述可动部相互连结的连结部，并且在所述可动部形成反射镜层，来形成结构体；以及收集工序，在所述形成工序之后，进行由收集构件的所述结构体的异物收集。本发明的反射镜单元的制造方法具备：密封工序，在所述收集工序之后，密封所述反射镜器件。
基本信息
专利标题 ：
反射镜器件的制造方法、及反射镜单元的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114502504A
申请号 ：
CN202080069426.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
铃木大几井出智行高桥干人
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN202080069426.6
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81C3/00 G02B26/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20200827
申请日 : 20200827
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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