反射镜器件的制造方法
公开
摘要

本发明的反射镜器件的制造方法,其中,反射镜器件具备:包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层,本发明的反射镜器件的制造方法具备:准备具有支撑层、器件层和配置在支撑层与器件层之间的中间层的晶圆的第一工序;在第一工序之后,通过将支撑层、器件层和中间层中的各个的一部分从晶圆去除,以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝,并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序;在第二工序之后,实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序;以及在第三工序之后,将多个部分中的各个从晶圆切出的第四工序,在第二工序中,将中间层的一部分通过各向异性蚀刻从晶圆去除。

基本信息
专利标题 :
反射镜器件的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114585585A
申请号 :
CN202080073186.7
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2020-08-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
铃木大几松本享宏井出智行高桥干人
申请人 :
浜松光子学株式会社
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN202080073186.7
主分类号 :
B81C1/00
IPC分类号 :
B81C1/00  B81B7/02  G02B7/198  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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