发光器件的制造方法

专利权的终止

摘要

公开了一种发光器件的制造方法，它包括如下步骤：提供在蒸发源中的含有有机化合物的第一坩埚和含有无机化合物的第二坩埚；沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔，所述蒸发源置于所述蒸发护罩的下方；在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时加热在所述蒸发源中的所述有机化合物和无机化合物，从而在所述基材上形成一层含所述有机化合物和无机化合物的层；在形成所述层的过程中加热该蒸发护罩；所述开孔具有细长的形状，其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。

基本信息

专利标题：

发光器件的制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN102244205A

申请号：

CN201110109514.7

公开（公告）日：

2011-11-16

申请日：

2006-03-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

岩城裕司瀬尾哲史熊木大介中島晴惠小島久味

申请人：

株式会社半导体能源研究所

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

朱黎明

优先权：

CN201110109514.7

主分类号：

H01L51/56

IPC分类号：

H01L51/56