反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法
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摘要
一种反射镜器件，包括：被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153)；被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103－1至103－4)；以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势，来固定该反射镜(153)下表面的电势，并抑制该反射镜(153)的漂移。
基本信息
专利标题 ：
反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1969217A
申请号 ：
CN200580019625.1
公开（公告）日 ：
2007-05-23
申请日 ：
2005-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
下川房男内山真吾山口城治佐藤诚笹仓久仁彦森田博文稻垣秀一郎町田克之石井仁
申请人 ：
日本电信电话株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王波波
优先权 ：
CN200580019625.1
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 B81B3/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2009-01-14 ：
授权
2007-07-18 ：
实质审查的生效
2007-05-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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