本申请实施例涉及光学单元、器件、芯片及其制造方法。根据本申请的一实施例，一种光学单元包括：波导，其具有一或多个侧壁；以及位于波导上方的光栅，其中所述光栅包覆所述一或多个侧壁中的至少一个侧壁的至少一部分。本申请其它实施例还提供了包括上述光学单元的光学器件以及芯片。本申请的另一些实施例还提供了一种制造上述光学单元、器件及芯片的方法。本申请实施例提供的光学单元、器件、芯片及其制造方法可有效解决传统技术中遇到的问题。