本申请实施例涉及一种光学单元、芯片及其制造方法。根据本申请的一实施例，一种光学单元包括：第一层，其包括衬底，所述衬底为高阻材料；第二层，其位于所述衬底的下方且与所述第一层经配置以进行光信号传输；以及中间层，其位于所述衬底和所述第二层之间，其中所述中间层包括位于所述衬底下方的铝氧化物层。本申请的另一实施例还提供一种芯片，其包括上述光学单元。本申请的再一实施例还提供一种制造上述光学单元及芯片的方法。本申请实施例提供的光学单元、芯片及器件可有效解决传统技术中遇到的问题。