扫描微镜

授权

摘要

本实用新型公开了一种扫描微镜，包括框架、反射镜以及连接在所述框架与反射镜之间的扭转梁，所述框架将所述反射镜包围于其中并与所述反射镜间隔设置；所述反射镜包括自其边缘朝径向凹陷形成的缺口部，所述扭转梁的第一端连接所述框架，所述扭转梁的第二端延伸至所述缺口部内并与所述反射镜连接，所述扭转梁的第二端的宽度大于所述扭转梁的第一端的宽度。本实用新型将扭转梁的根部设置在反射镜内部，削弱了扭转梁对于微镜内镜面填充率的影响，同等尺寸微镜内的镜面填充率得以提高，有效地增大了反射镜镜面的口径，同时也避免微镜出现不必要的跳动，降低了扭转梁对扫描镜的频率、偏转角度、机械稳定性等的影响。

基本信息

专利标题：

扫描微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020591279.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211577560U

授权日：

2020-09-25

发明人：

李帆雅沈文江

申请人：

苏州希景微机电科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司

代理人：

孙伟峰

优先权：

CN202020591279.6

主分类号：

G02B26/10

IPC分类号：

G02B26/10 G02B26/08