二维静电扫描微镜
授权
摘要

本实用新型公开了一种二维静电扫描微镜,包括外边框、内边框和镜面,外边框上加工有外框隔离槽,将外边框分隔为外框测量部、外框驱动部和两个外框连接部;外框测量部和内边框之间具有外反馈梳齿组,外框驱动部和内边框之间具有外驱动梳齿组,镜面加工有镜面隔离槽,将镜面分隔的镜面反馈部、镜面驱动部和中心部;镜面反馈部和镜面驱动部分别与内边框之间加工有内反馈梳齿组和内驱动梳齿组。通过在外边框和镜面设置不同结构的隔离槽,将外边框和镜面分隔为不同的功能部分,将内外梳齿组分别设置为驱动梳齿组和反馈梳齿组,可以实现对镜面在两个方向偏转角度的测量,可以实时反馈镜面在不同方向的偏转角度,并提高镜面偏转角度控制的精确性。

基本信息
专利标题 :
二维静电扫描微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922085941.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-28
授权号 :
CN211206960U
授权日 :
2020-08-07
发明人 :
徐乃涛程进孙其梁李宋泽
申请人 :
无锡微视传感科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区二泉东路19号
代理机构 :
江苏漫修律师事务所
代理人 :
平梁良
优先权 :
CN201922085941.0
主分类号 :
G02B26/10
IPC分类号 :
G02B26/10  G02B26/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2020-08-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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