运动解耦的二维扫描微镜装置

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摘要

本实用新型公开了一种运动解耦的二维扫描微镜装置，包括微镜、闭合线圈以及与微镜间隔设置的磁场发生装置、第一导磁柱、第二导磁柱，微镜的反射镜通过一对Y转轴与内框连接，内框通过一对垂直于Y转轴的X转轴与外框连接；第一导磁柱、第二导磁柱均设于闭合线圈正下方，且在内框上的正投影分别与X转轴、Y转轴所在的直线相交；第一导磁柱和第二导磁柱分别用于在磁场发生装置的作用下驱动通电的内框上的闭合线圈发生偏转。本实用新型将导磁柱设于闭合线圈正下方，并分别对应微镜的慢轴、快轴轴线所在部位，即可实现闭合线圈的对称受力，从而避免反射镜沿快轴偏转过程中在慢轴方向上发生偏移，使得慢轴、快轴单独受力，精确保证微镜的偏转轨迹。

基本信息

专利标题：

运动解耦的二维扫描微镜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020952946.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-29

授权号：

CN212586648U

授权日：

2021-02-23

发明人：

余晖俊李帆雅沈文江

申请人：

苏州希景微机电科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司

代理人：

孙伟峰

优先权：

CN202020952946.9

主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G02B26/08 G02B26/10