静电扫描微镜
授权
摘要
本实用新型公开了一种静电扫描微镜，包括上部的微镜本体和下方的键合底板，微镜本体包括边框和镜面，边框背面固定在键合底板上；所述镜面上下两端分别连接有连接部，并通过转轴与边框连接；所述连接部的外侧加工有动齿，边框内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。本实用新型的静电扫描微镜在转轴和镜面之间设置一个专用的连接部，通过在连接部的外侧设置梳齿，可以增加梳齿布置区域，增强微镜的驱动力，增加微镜的最大偏转角度。同时，通过在边框上设置不同结构的隔离槽，将边框分隔为不同的功能区域，并且将所有的梳齿组分为驱动梳齿组和反馈梳齿组，在驱动镜面偏转的同时，可以实时监控镜面偏转角度，提高镜面偏转角度控制的精确性。
基本信息
专利标题 ：
静电扫描微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020142570.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-22
授权号 ：
CN211506023U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
徐乃涛孙其梁程进李宋泽
申请人 ：
无锡微视传感科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区二泉东路19号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
平梁良
优先权 ：
CN202020142570.5
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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