一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检测应力变化的能力，以及镜面（2）的扭转角度与扭转梁（4）端部应力间的正比关系，实现对扭转梁（4）端部应力变化情况的检测，最终获得MEMS静电微镜的镜面（2）偏转角度，拥有直接检测高速旋转镜面（2）角度的优点，整个设计方案具有实时、连续检测微镜镜面（2）运动状态的优点，同时整个结构封装尺寸小、结构紧凑，更加节省成本。
基本信息
专利标题 ：
一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122768025.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-12
授权号 ：
CN216434535U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
张程浩陈巧陈敏
申请人 ：
苏州知芯传感技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
田凌涛
优先权 ：
CN202122768025.4
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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