微反射镜阵列
公开
摘要
微反射镜阵列包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；以及针对多个反射镜中的每个反射镜，将衬底连接到反射镜的相应的柱。针对多个反射镜中的每个反射镜，微反射镜阵列还包括被连接到衬底的一个或多个静电致动器，该一个或多个静电致动器用于向柱施加力以使柱相对于衬底进行位移，由此使反射镜进行位移。还公开了一种形成该微反射镜阵列的方法。微反射镜阵列可以用于可编程照射器中。可编程照射器可以用于光刻设备和/或检查设备中。
基本信息
专利标题 ：
微反射镜阵列
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341700A
申请号 ：
CN202080058816.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
L·R·S·哈斯普斯劳格V·罗切斯G·布兰达尼·托里A·哈尔巴赫N·潘迪S·A·戈登
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080058816.3
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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